特点
控制器工作温度：90~120℃。
高控制精度：产品精度可达±1.0% S.P.(≥35%F.S.)。
快速响应，响应时间≤ 0.8sec。
采用恒功率传感器原理，在温度变化时进行相应的补偿，从根本上抑制了流量计的零漂现象，保证了传感器线性。
高端产品采用专门的金属表面处理技术，与气体接触的表面金属材料全部使用316LVV，CS200产品金属表面粗糙度更可达10RA以下，严格按照SEMI标准生产制造。
支持±8V~±16V双电源, +14V~+28V单电源供电;数字，模拟输入输出。
产品尺寸符合国际通用的SEMI标准，RS485，DeviceNet通讯方式。
应用
规格
