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在半导体、平板显示、医药、生物制药、特种气体输送等超高纯(UHP) 领域,压力测量不仅要精准,更要零污染、无泄漏、高可靠、可报警。普通压力表因材质析出、表面粗糙、密封性不足,极易造成介质污染与系统风险,已无法满足高端制造的严苛要求。
威卡 230.15 NS 2" 波登管压力表(搭配 851 型干簧开关触点),专为超高纯、强腐蚀、高安全工况量身打造,从材料、工艺、洁净度到电气控制全面对标国际 UHP 标准,成为高端制造压力监测的优选方案。
威卡 230.15 主要面向对介质洁净度、无泄漏、安全联锁有极致要求的场景:
半导体、平板显示制造工艺
医药、生物制药、原料药生产
高纯气体 / 特种气体分配系统
强腐蚀性气体、液体压力监测
生命安全与关键设备压力保护
产品兼顾现场压力指示与开关量报警输出,一台仪表实现 “显示 + 控制 + 保护” 三合一,简化系统、降低备件种类。
接液部件采用316L 不锈钢,耐腐蚀、无析出
内部与表壳全电抛光,内壁光洁度Ra≤0.25μm
百级 / 十级洁净室清洗、组装、封装
氮气吹扫 + 双层真空包装,螺纹带保护帽
完全符合SEMI/SEMATECH洁净标准
整机氦质谱检漏,严控微泄漏
支持VCR 面密封接口,适配高纯气路
可选防咬死 Nitronic 60 螺母,长期使用不卡滞
从根源避免气体泄漏、交叉污染与安全隐患
表盘尺寸 2"(50mm),精度等级ASME B40.100 Grade A
指示误差:±2.5% 满量程
量程覆盖:真空 - 30inHg~45psi,高压至 0~6000psi
温度影响小:±0.4%/10K 满量程,环境适应性强
最多搭载2 组 851 干簧开关,SPDT 单刀双掷
开关点现场可调(量程 15%–80%)
电气参数:DC/AC 24V、0.5A、10VA/W
支持高低压报警、联锁停机、切换控制
介质温度≤100℃,环境 - 40℃~+40℃
防护等级IP20
可选ATEX、IECEx、FM防爆认证,用于危险区域
多种过程接口:VCR、9/16-18 UNF、1/4NPT 等
半导体工艺:刻蚀、薄膜、扩散等特殊气体管路压力监测与超压报警
医药 / 生物制药:洁净气体、注射用水、强腐蚀介质压力控制
高纯气站:大宗气体、特种气体分配盘、VMB 阀门箱压力监控
科研实验室:超高纯系统、气相色谱、质谱配套压力测量
威卡 230.15 超高纯压力表以洁净、无泄漏、高精度、带开关、强适配,完美解决 UHP 工况压力测量痛点。它不只是一块压力表,更是高端制造中保障品质、安全、稳定运行的关键基础仪表。
如果你正在为半导体、医药、高纯气体等场景寻找合规、可靠、可报警的超高纯压力测量方案,威卡 230.15 将是你的理想选择。