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威卡 230.15 超高纯压力表|UHP 工况专用 带开关触点 洁净无污更安全

时间: 2026-06-01 10:12:28 发布:米瑞凯科技 阅读: 25

在半导体、平板显示、医药、生物制药、特种气体输送等超高纯(UHP) 领域,压力测量不仅要精准,更要零污染、无泄漏、高可靠、可报警。普通压力表因材质析出、表面粗糙、密封性不足,极易造成介质污染与系统风险,已无法满足高端制造的严苛要求。

威卡 230.15 NS 2" 波登管压力表(搭配 851 型干簧开关触点),专为超高纯、强腐蚀、高安全工况量身打造,从材料、工艺、洁净度到电气控制全面对标国际 UHP 标准,成为高端制造压力监测的优选方案。

一、核心定位:为超高纯场景而生

威卡 230.15 主要面向对介质洁净度、无泄漏、安全联锁有极致要求的场景:

  • 半导体、平板显示制造工艺

  • 医药、生物制药、原料药生产

  • 高纯气体 / 特种气体分配系统

  • 强腐蚀性气体、液体压力监测

  • 生命安全与关键设备压力保护

产品兼顾现场压力指示与开关量报警输出,一台仪表实现 “显示 + 控制 + 保护” 三合一,简化系统、降低备件种类。

二、五大核心优势,筑牢 UHP 测量底线

1. 超高洁净设计,杜绝介质污染

  • 接液部件采用316L 不锈钢,耐腐蚀、无析出

  • 内部与表壳全电抛光,内壁光洁度Ra≤0.25μm

  • 百级 / 十级洁净室清洗、组装、封装

  • 氮气吹扫 + 双层真空包装,螺纹带保护帽

  • 完全符合SEMI/SEMATECH洁净标准

2. 无泄漏保障,系统更安全

  • 整机氦质谱检漏,严控微泄漏

  • 支持VCR 面密封接口,适配高纯气路

  • 可选防咬死 Nitronic 60 螺母,长期使用不卡滞

  • 从根源避免气体泄漏、交叉污染与安全隐患

3. 高精度测量,稳定可靠

  • 表盘尺寸 2"(50mm),精度等级ASME B40.100 Grade A

  • 指示误差:±2.5% 满量程

  • 量程覆盖:真空 - 30inHg~45psi,高压至 0~6000psi

  • 温度影响小:±0.4%/10K 满量程,环境适应性强

4. 灵活开关触点,现场可设报警

  • 最多搭载2 组 851 干簧开关,SPDT 单刀双掷

  • 开关点现场可调(量程 15%–80%)

  • 电气参数:DC/AC 24V、0.5A、10VA/W

  • 支持高低压报警、联锁停机、切换控制

5. 强适配与高防护

  • 介质温度≤100℃,环境 - 40℃~+40℃

  • 防护等级IP20

  • 可选ATEX、IECEx、FM防爆认证,用于危险区域

  • 多种过程接口:VCR、9/16-18 UNF、1/4NPT 等

三、典型应用场景

  1. 半导体工艺:刻蚀、薄膜、扩散等特殊气体管路压力监测与超压报警

  2. 医药 / 生物制药:洁净气体、注射用水、强腐蚀介质压力控制

  3. 高纯气站:大宗气体、特种气体分配盘、VMB 阀门箱压力监控

  4. 科研实验室:超高纯系统、气相色谱、质谱配套压力测量

四、总结

威卡 230.15 超高纯压力表以洁净、无泄漏、高精度、带开关、强适配,完美解决 UHP 工况压力测量痛点。它不只是一块压力表,更是高端制造中保障品质、安全、稳定运行的关键基础仪表。

如果你正在为半导体、医药、高纯气体等场景寻找合规、可靠、可报警的超高纯压力测量方案,威卡 230.15 将是你的理想选择。