华丞CS200A气体质量流量控制器：精密控制，广泛适用于半导体与精密制造

在半导体制造、精密化工、真空镀膜等高要求工业场景中，气体流量的精确控制是工艺稳定性的核心保障。华丞电子（Beijing AURASKY Electronics）推出的 CS200A 系列气体质量流量控制器（MFC），以高准确度、强可靠性和开放通讯协议，成为精密流量控制领域的优选方案。

产品概述

CS200A/B/C/D 型 MFC/MFM 是华丞电子采用最先进数字技术研发的气体质量流量控制与测量产品，在半导体集成电路工艺、特种材料、化工、石油、医药、环保及真空等多领域均有重要应用。

典型应用场合包括：微电子工艺设备（扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入）、镀膜设备、光纤熔炼、微反应装置、混气配气系统、气体取样及各类分析仪器。

核心技术参数

参数	CS200A/B（橡胶密封）	CS200C/D（金属密封）
流量规格	5～500 SCCM / 1～50 SLM	2～500 SCCM / 1～30 SLM
准确度	±0.35% F.S.（<35% F.S.）；±1.0% S.P.（≥35% F.S.）
线性	±0.5% F.S.
重复精度	±0.2% F.S.
响应时间	≤1 sec	≤0.8 sec
最大工作压力	0.45 MPa
耐压强度	3 MPa
漏率	1×10⁻¹⁰ Pa·m³/sec He	1×10⁻¹¹ Pa·m³/sec He
工作环境温度	5～45℃	0～50℃
供电	双电源 ±15 VDC 或单电源 24 VDC（±10%）

多样化通讯与信号支持

CS200A 系列产品兼容数字与模拟双控制方式，满足不同系统集成需求：

• 数字通讯协议：RS485、EtherCAT、ProfiBus、DeviceNet
• 模拟信号：0～5V 电压控制 / 4～20mA 电流控制 / 0～20mA 电流控制
• 流量检测信号数字与模拟同时输出，互不干扰
• 标配免费上位机软件 Digital MFC，方便用户自行开发控制与采集系统

先进功能亮点

多气体多量程

用户可根据实际工艺需求更换气体类型及转化系数，满量程可在原始值的 0.3～1.1 倍范围内灵活调整，无需更换硬件即可适配多种气体和工况。

软启动与延迟控制

支持软启动功能，可按设定斜率平滑改变流量设定值，避免气体冲击；延迟时间可精确设定至毫秒级，保障工艺过渡的精准可控。

累积流量统计

实时记录并输出通过 MFC/MFM 的气体累积流量（单位：SCCM），便于工艺管控与追溯。

智能报警系统

内置传感器警告、EEPROM 错误、控制阀错误、温度报警等多重保护机制。LED 指示灯直观显示运行状态：绿色常亮为正常，绿色闪烁为自动调零中，红色闪烁为警告，红色常亮为错误。

调零功能

用户可通过软件命令或物理调零按钮修正零漂，确保长期稳定的测量精度。

精密制造工艺

CS200A/B/C/D 型产品在 100 级净化间内组装，1000 级净化环境下标定及包装，每台出厂前均经过 24 小时烤机与两次精度检查，从源头保障产品可靠性。

CS200C 型采用金属密封，表面 Cr/Fe 比例 ≥ 2.0，CrO 厚度 ≥ 20 埃，表面粗糙度达 10μ inch Ra，适用于超高洁净度及强腐蚀性气体工况。

丰富的接口选型

CS200A 系列提供多种进出气接头形式，满足不同管路标准：

• 双卡套：φ3、φ6、φ10、1/8"、1/4"、3/8"
• VCR 1/4" 阳接头 / VCO 1/4" 阳接头
• A 型、C 型（IGS）、W 型（IGS）密封接头
• 软管接头：φ4、φ5、φ6

电气接头支持 D 型 9 针（SEMI 标准）/ 15 针、DeviceNet、ProfiBus、EtherCAT 等多种标准，覆盖主流工业自动化平台。

质保承诺

华丞电子为 CS200 系列产品提供自购买日起 12 个月质量保修，覆盖材料与工艺瑕疵。保修期内免费维修，售后响应及时，为您的生产稳定运行保驾护航。

适用行业

• 半导体与集成电路制造（CVD、刻蚀、溅射、离子注入等工艺）
• 新能源（光伏 PECVD、锂电极片涂布等）
• 化工与石油工业
• 医药与生命科学
• 真空镀膜与光纤制造
• 科研实验室与分析仪器

如需了解 CS200A 系列产品详细规格、选型建议或订购信息，欢迎联系米瑞凯科技专业团队，为您提供从选型到应用的全程技术支持。