光滑、无阻碍的流道,可进行全面的吹扫
由于采用无弹簧和无螺纹结构,因此可最大程度地减少颗粒的产生
全面关闭密封带有可定位阀盖
阀膜与阀体密封之间采用金属对金属设计,提供一流的密封性
符合 SEMI F19、UHP 等级要求