12 系列无弹簧无螺纹调压器

特点

• 适用于高级 OEM 气体系统的理想产品

• 高灵敏度压力控制增强质量流量控制器 （MFC） 性能

• 适用范围广，性能优越

• 流量：2 SCFM 至 120 SLPM

• 在微型元件中提供卓越的压降和重复性

• 阀膜与阀体之间采用金属对金属密封，提供一流的密封性

• 内部表面光洁度为 10 Ra 或 5 Ra 微英寸

• 符合 SEMI F19 和 SEMI 模块化接口规格

应用

规格