高精度气体流量控制首选：D07‑19B/BM 热式气体质量流量控制器 / 流量计

在半导体工艺、真空镀膜、清洁能源、光伏、光纤制造、催化反应、实验室配气系统等领域，稳定、精准、可靠的气体流量控制直接决定产品良率、实验重复性与设备安全性。北京华丞电子推出的 D07‑19B / D07‑19BM 热式模拟气体质量流量控制器 / 质量流量计，凭借成熟模拟电路、优异稳定性与超高性价比，成为行业高精度气路控制的主流选型。

一、产品概述：高精度热式流量控制核心器件

D07‑19B（质量流量控制器 MFC）与 D07‑19BM（质量流量计 MFM）采用经典热式测量原理，无需温压补偿即可直接测量气体质量流量，具备响应快、精度高、零漂小、线性好、过冲小等优势，可对氮气、氧气、氩气、氢气、空气及多种特种气体、混合气体实现精准控制与监测。

产品在万级净化车间完成组装、标定与检漏，每台均经过氦质谱检漏，确保气路零泄漏，可长期稳定运行于严苛工业与科研环境。

二、核心优势：为什么选择 D07‑19B/BM

1. 测量与控制精度出众

• 流量精度：±1% F.S.（20/30SLM 为 ±2% F.S.）

• 线性：±0.5% F.S.

• 重复精度：±0.2% F.S.

• 响应时间：≤2 秒，快速跟随设定值

• 控制范围：2%–100% F.S.，宽量程稳定可控

2. 超高气密性，安全更放心

• 漏率低至：1×10⁻⁹ Pa·m³/s He

• 耐压可达 3MPa(G)，最大工作压力 1MPa(G)

• 适配腐蚀性、有毒、易燃易爆气体（需选配对应密封材质）

3. 宽流量覆盖，满足多场景需求

流量量程从 SCCM 小流量到 SLM 大流量全覆盖：

• 小流量：0–5/10/20/30/50/100/200/300/500 SCCM

• 大流量：0–1/2/3/5/10/20/30 SLM（以 N₂标定）

4. 强兼容性，安装使用更灵活

• 支持 0–5VDC 模拟控制，可接显示仪、PLC、计算机

• 供电：±15VDC，工业标准稳定供电

• 安装方向：水平 / 垂直均可，适配设备集成

• 多种气路接头：φ3/6/8/10mm、1/8"、1/4"、3/8"、VCR、软管接头

5. 成熟模拟电路，稳定抗干扰

• 零点温漂：≤±0.1% F.S./℃

• 量程温漂：≤±0.2% F.S./℃

• 支持外部调零，长期使用依旧精准

• 阀控、关闭、清洗功能可外部信号控制

三、关键结构与性能亮点

1. 气路材质：不锈钢主体，搭配氟橡胶 / PTFE / 耐氨橡胶密封，适配不同气体

2. 阀类型：D07‑19B 为常闭型电磁阀，断电即关，安全可靠

3. 工作温度：5–45℃，适应实验室与工业现场环境

4. 标准标定：以 N₂在标准状态（0℃、101.325kPa）标定，支持多气体转换系数修正

5. 配套友好：可搭配 D08 系列流量显示仪，实现本地显示与远程控制

四、典型应用领域

D07‑19B/BM 凭借稳定性能与高可靠性，广泛应用于：

• 半导体制造：扩散、氧化、外延、CVD、刻蚀、离子注入

• 真空镀膜：磁控溅射、蒸镀、PECVD 等工艺气路控制

• 清洁能源：燃料电池、固态电池、氢能设备

• 光伏与光纤：光伏制程、光纤熔炼气体控制

• 科研实验室：配气系统、气相色谱、微反应、催化实验、环境模拟

• 通用工业：气体取样、混气装置、检漏设备、气相分析仪器

五、安装与使用要点（安全规范）

1. 安装前检查接头，气流方向必须与箭头一致

2. 建议上游加装 ≤10μm 过滤器，防止粉尘损坏传感器

3. 使用前预热 10–15 分钟，确保测量稳定

4. 通腐蚀性 / 有毒气体前，必须用惰性气体吹扫并检漏

5. 调零需在通气关闭、预热稳定后进行，仅可调零电位器

6. MFC 为调节阀，不可当作截止阀使用，需额外配置截止阀保障安全

六、品质保障与服务

华丞电子对 D07‑19B/BM 提供：

• 12 个月质保

• 出厂全检：外观、氦检漏、流量标定、功能测试

• 专业技术支持：安装调试、气路设计、标定维修、气体转换系数计算

• 可提供定制标定、特殊接头、混合气体定制服务

总结

D07‑19B / D07‑19BM 热式气体质量流量控制器 / 流量计，是高精度、高可靠、高性价比的工业级流量控制方案。从半导体先进制程到实验室精密配气，从清洁能源装备到真空镀膜系统，它都能提供稳定一致的流量控制，是提升设备品质与实验可信度的核心部件。

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