D07‑9 系列热式模拟气体质量流量控制器｜高精度大流量工业级流量控制解决方案

在半导体制造、光伏制程、真空镀膜、燃料电池、化工反应、气相沉积与科研分析设备中，稳定、精准、可靠的气体流量控制直接决定工艺一致性、产品良率与实验数据可信度。随着工业制程对流量控制要求不断提升，大流量、高精度、高稳定性的质量流量控制器（MFC）已成为高端装备的核心标配。

北京华丞电子推出的 D07‑9 系列热式模拟气体质量流量控制器 / 质量流量计（D07‑9E/J、9EM/JM），专为中到大流量气体控制设计，采用成熟模拟电路与高性能热式流量传感器，具备精度高、响应快、零漂小、线性好、耐压强、漏率低等优势，是工业级高精度气路控制的理想选择。

一、产品概述：工业级大流量热式 MFC

D07‑9 系列是华丞电子面向工业与高端科研场景推出的大流量热式模拟气体质量流量控制器 / 流量计，采用经典毛细管传热温差量热法原理，无需温压补偿即可直接测量气体质量流量。产品在万级净化车间完成组装、标定与氦质谱检漏，出厂全检，确保每一台设备在严苛工况下长期稳定运行。

该系列分为 MFC 控制器（9E/9J） 与 MFM 流量计（9EM/9JM） 两种机型，流量覆盖 20–250SLM 宽量程区间，完美满足从半导体工艺、真空镀膜到燃料电池、化工反应等大流量配气需求。设备支持 0–5VDC 模拟控制，可直接接入 PLC、DCS、流量显示仪与计算机控制系统，兼容各类自动化设备集成。

凭借优异的稳定性与强兼容性，D07‑9 系列广泛应用于半导体扩散 / 氧化 / 外延 / CVD / 刻蚀 / 溅射、真空镀膜、光纤熔炼、燃料电池、固态电池、微反应装置、混气配气系统、气相色谱、气体取样、环境监测等领域，成为高端气路控制的主流选型。

二、核心性能优势

1. 大流量全覆盖，量程选择灵活

D07‑9 系列专为大流量工况设计，以 N₂标定提供完整流量规格：20、30、50、100、150、200、250SLM，覆盖绝大多数工业大流量配气需求。控制范围 2%–100% F.S.，全区间稳定可控，满足低流量调节与大流量输出双重需求。

2. 高精度测量，控制稳定可靠

• 流量精度：±1.5% F.S.（9E/9EM：±2% F.S.）

• 线性度：±1% F.S.

• 重复精度：±0.2% F.S.，长期运行一致性极高

• 响应时间：≤4 秒，快速跟随设定值，减少动态偏差

• 温度系数：零点≤±0.1% F.S./℃，量程≤±0.2% F.S./℃，温漂小、稳定性强

3. 超高气密性，安全更放心

• 漏率低至：1×10⁻⁹ Pa·m³/s He，满足超高纯度气路密封要求

• 耐压：3MPa(G)，最大工作压力 1MPa(G)

• 工作压差分量程优化，适配不同流量稳定运行

• 常闭型电磁阀，断电即关，有效防止气体泄漏

4. 强兼容性，适配多气体多场景

• 接气材质：不锈钢主体，搭配氟橡胶 / 耐氨橡胶密封，适配多类型气体

• 支持惰性气体、还原性气体、氧化性气体、腐蚀性气体（需对应密封材质）

• 提供完整气体转换系数表，支持多气体标定与读数修正

• 气路接头丰富：φ6/8/10/12mm、1/4"、3/8"、1/2"、VCR 1/2"，满足各类气路对接需求

5. 模拟电路成熟稳定，抗干扰强

• 采用经典模拟控制技术，传感器驱动、零漂抑制、阀控算法成熟

• 支持 0–5VDC 外部信号设定，流量检测输出同步反馈

• 供电：±15VDC，工业标准电源，抗干扰能力强

• 电气接口：DB15 公头，接线标准化，支持与显示仪、计算机直连

• 工作温度：5–45℃，适应工业现场与实验室环境

6. 安装灵活，维护简单

• 安装方向：水平 / 竖直均可，布局不受空间限制

• 预热时间：10–15 分钟，开机快速进入稳定状态

• 维护周期长：洁净气体可用 3–4 年再标定，腐蚀性气体 1–2 年标定

• 支持外部调零，方便用户现场校准，长期保持精度

三、结构与关键参数

核心结构

• 流量传感器：毛细管式热式质量流量传感器

• 控制阀：高精度电磁调节阀（MFC）

• 气路：不锈钢流道，低吸附、低析出、耐腐蚀

• 电路：模拟控制板，高稳定性、低零漂、强抗干扰

关键参数

• 控制方式：0–5VDC 模拟控制

• 阀类型：常闭型（MFC）

• 漏率：1×10⁻⁹ Pa・m³/s He

• 耐压：3MPa (G)

• 工作压差：分量程优化设计

• 安装方式：水平 / 垂直

• 电气接口：DB15

• 标定介质：N₂（可定制其他气体）

四、典型应用场景

1. 半导体与光伏制程

适用于扩散、氧化、外延、CVD、等离子刻蚀、溅射、离子注入等工艺，精准控制工艺气体流量，保障膜层均匀性与制程稳定性。

2. 真空镀膜设备

用于磁控溅射、电子束蒸发、PECVD 等设备，精确控制工作气体与反应气体流量，提升膜层附着力、均匀性与重复性。

3. 新能源装备

燃料电池、固态电池、氢能设备的气路流量控制，提供稳定氢气、空气、惰性气体供给，提升电池性能与寿命。

4. 化工与气相反应

固定床 / 流化床反应、催化合成、气相聚合等场景，大流量稳定配气，提高反应转化率与产物一致性。

5. 分析仪器与科研设备

气相色谱、混气系统、环境模拟、材料科研等，高精度流量输出，保证实验数据可靠。

五、安装与使用规范

1. 安装时气流方向必须与箭头一致，禁止反接

2. 建议上游加装 ≤10μm 过滤器，防止粉尘损坏传感器

3. 通腐蚀性 / 有毒气体前，必须用惰性气体吹扫并检漏

4. 预热 10–15 分钟后再使用，确保测量稳定

5. 调零需在通气关闭、预热稳定后进行

6. MFC 为调节阀，不可当作截止阀使用，需另配截止阀保障安全

六、品质保障与服务

• 12 个月官方质保

• 出厂全检：外观检查、氦检漏、流量标定、功能验证

• 专业技术支持：安装调试、气路设计、标定维修、气体转换系数计算

• 支持定制：特殊气体、特殊流量、特殊接头、特殊标定需求

总结

D07‑9 系列热式模拟气体质量流量控制器 / 流量计，以大流量、高精度、高稳定性、高安全性、强兼容性为核心优势，完美适配半导体、光伏、真空镀膜、新能源、化工、科研等高端气路控制场景。无论是工业自动化产线，还是高端实验室设备，D07‑9 系列都能提供稳定、精准、可靠的流量控制，是提升装备品质与工艺可靠性的核心部件。

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