射频电源_半导体等离子体射频电源

连续射频电源/射频脉冲电源

射频电源（RF Power Supply）是半导体制造中产生等离子体的核心"能量引擎"。它通过产生高频正弦波（400kHz-60MHz），将电能精确转换为等离子体所需的射频能量，直接决定刻蚀、薄膜沉积等关键工艺的精度与良率。
米瑞凯科技代理的华丞电子射频电源，采用全固态数字控制技术，频率覆盖400kHz至60MHz全主流频段，功率从1.2kW延伸至50kW，已在国内主流半导体装备企业完成导入验证，是国产替代的可靠选择。

特点：

标准版射频电源

适配成熟制程（28nm及以上）
功率范围：1.2kW - 10kW
频率：13.56MHz / 2MHz / 400kHz
支持CW连续波模式
高性价比，满足常规刻蚀、PECVD需求

自适应版射频电源

适配先进制程
功率范围：5kW - 50kW
频率：13.56MHz / 27.12MHz / 40.68MHz / 60MHz
支持多级脉冲模式
脉冲自适应点火，微秒级快速响应
适用ALE（原子层刻蚀）等高端工艺

平衡版射频电源

兼顾性能与成本
适用于成熟制程向先进制程过渡阶段
支持扫频功能与多种脉冲模式

应用：

等离子刻蚀（Etch）：CCP/ICP刻蚀设备，含介质刻蚀、硅刻蚀、金属刻蚀
薄膜沉积：PECVD / ALD / PVD / HDPCVD
离子注入（Ion Implant）
等离子清洗（Plasma Clean）
科学研究：材料表面处理、等离子体诊断
光伏制程：PECVD镀膜
平板显示：TFT-LCD/OLED制造

规格：

参数项	规格范围
工作频率	400kHz / 2MHz / 13.56MHz / 27.12MHz / 40.68MHz / 60MHz
功率范围	1.2kW - 50kW（支持多路并联）
频率稳定性	±0.005%
输出精度	0.1W（先进版）
工作模式	CW连续波 / 单级脉冲 / 多级脉冲
通信接口	RS232 / RS485 / EtherCAT
冷却方式	风冷 / 水冷
脉冲响应	≤5μs（先进版）

为什么选择华丞电子射频电源？

1. 全自主可控：核心算法、硬件平台完全自主研发，不受海外供应限制

2. 工艺验证成熟：已在国内主流半导体设备企业完成导入验证

3. 快速交付：三大研发生产基地（北京），总面积超10万㎡

4. 灵活定制：支持频率、功率、通信接口定制化配置

5. 技术先进：微秒级响应、脉冲自适应、一体化匹配方案

6. 成本优势：比进口品牌价格低30%-50%

射频电源选型指南

选型时需关注以下参数：

1. 工艺需求：刻蚀（需高频高精度）还是沉积（需多通道）？

2. 功率需求：根据腔体尺寸和工艺要求确定功率范围

3. 频率需求：13.56MHz为行业标准，部分工艺需低频（2MHz/400kHz）或高频（60MHz）

4. 脉冲需求：是否需要多级脉冲模式？

5. 冷却条件：风冷还是水冷？

常见问题

Q1：华丞电子射频电源适配哪些制程？

A：标准版适配28nm及以上成熟制程，自适应版可支持14nm及更先进制程。

具体适配情况需根据工艺需求评估，欢迎联系我们的技术工程师。

Q2：射频电源可以单独购买吗？

A：可以。米瑞凯科技作为华丞电子授权代理商，提供射频电源单机销售

及配套匹配器、直流电源的系统方案。

Q3：国产射频电源和进口（AE/MKS）差距大吗？

A：在28nm及以上成熟制程，国产射频电源已基本追平进口品牌；

在先进制程（14nm以下），恒运昌、华丞电子等国产厂商正在快速缩小差距。

华丞电子自适应版在脉冲响应、功率精度方面已达到国际先进水平。

Q4：射频电源的交期多久？

A：标准品一般4-6周，定制化产品需根据具体配置确认，

交期显著短于进口品牌（通常12-16周）。

Q5：是否提供射频电源+匹配器的一体化方案？

A：是。华丞电子已推出"射频电源+匹配器"一体化协同方案，

可实现毫秒级阻抗匹配协同与动态功率分配。