产品中心
Product Center
单/双输出匹配器 双频匹配器
匹配范围宽，匹配速度快，匹配精度高
提供VDC偏压和输出阻抗信号
适用于刻蚀、薄膜沉积等多种工艺
双通道独立控制
广泛应用于刻蚀、薄膜沉积等半导体设备
支持双频同时加载馈入
双频隔离度高
产品集成度高
可在单频率或多频率组合下稳定匹配
刻蚀（ICP/CCP Etch）
PECVD / CVD / ALD / PVD
等离子清洗
光伏制造
科学研究
| 参数 | 规格 |
| 频率范围 | 400kHz / 1MHz / 2MHz / 13.56MHz / 27.12MHz / 40.68MHz / 60MHz |
| 功率范围 | 1.5kW - 10kW（可按需扩展） |
| 匹配时间 | <200ms（SMA算法，±10%预设位置） |
| 匹配拓扑 | L型 / T型 / π型 / Gamma(Γ)型 |
| 通信接口 | RS232/485 / EtherCAT |
| 脉冲支持 | 单级/双级/四级脉冲检测与匹配 |
| 冷却方式 | 风冷 |
射频电源
直流电源
WIKA半导体级压力仪表
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