产品中心
Product Center
ESC直流电源/RPS低频电源
双极型/单极型可选
适配库伦型/JR型等各类静电卡盘
为晶圆吸附提供稳定静电场
电压输出最高达±7.5kV
高稳定性低频输出
广泛应用于氧化物、氮化物清洗工艺
维持稳定等离子体
刻蚀设备：ESC静电卡盘供电
CVD/PVD设备：晶圆固定
清洗设备：RPS低频电源
离子注入设备
| 参数 | ESC直流电源 | RPS低频电源 |
| 输出电压 | 最高±7.5kV（15kV） | 按需配置 |
| 输出类型 | 双极/单极 | \ |
| 适配卡盘 | 库伦型/JR型 | \ |
| 应用工艺 | 晶圆吸附 | 清洗工艺 |
射频电源
匹配器
WIKA压力测量产品
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